想了解更多詳細資訊，請點相關連結： 奈米新世界：http://nano.nstm.gov.tw/ Facebook奈米新世界：https://www.facebook.com/nanoilove 看不見的尺度，奈以展示專區：http://www.nstm.gov.tw/2015Nanometer/ 國立科學工藝博物館：http://www.nstm.gov.tw/ Facebook國立科學工藝博物館：https://www.facebook.com/pages/%E7%A7%91%E5%AD%B8%E5%B7%A5%E8%97%9D%E5%8D%9A%E7%89%A9%E9%A4%A8-%E9%AB%98%E9%9B%84%E7%A7%91%E5%B7%A5%E9%A4%A8/542633319080166?fref=ts 奈米壓印 如何製作微小結構 3C產品是由光電和半導體元件組成的，這些元件上的微小結構， 一般使用「光學微影技術」或「電子束微影技術」製作。 光學微影技術 此技術利用光學投射方式，使光罩上的圖案 縮小並轉印至晶圓上塗佈的感光層(阻劑)。感光層 在照光後容易被溶劑去除，因而曝露出晶片表面， 可進一步被蝕刻，因此光罩上的圖案可轉移至晶片， 形成具相同圖案的微小結構。雖可大量製作同樣圖 形，但受限於光的波長，圖形尺寸有所限制。 電子束微影技術 此技術不需利用光罩，而是用電子束直接將圖案 「畫」在晶圓表面塗佈的阻劑上。雖可製作5奈米以下的 結構，但需一個個「畫」出圖形，耗時且成本高。 奈米壓印 此技術先用電子束等方式做出模具， 再用蓋章方式將模具重複壓印在阻劑上， 即可形成微小圖案，能夠應用在軟性電 子產業上(如可彎曲螢幕)。